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多晶硅裝置球閥抱死或發卡的解決方案
  • 關鍵詞:
  • 資料類型：
    doc
  • 上傳時間：
    2013年09月29日 14:12
  • 上傳人：
      
  • 下載次數：
    495
  • 需要積分：
    0
  • 資料簡介
  • 　　BF35導讀：在多晶硅裝置上球閥發生抱死或發卡的主要原因為：
    　　
    　　1.閥座的板簧變形腔，密封性能不好，以致于硅粉進入閥座板簧變形腔，造成板簧被堵死失效后，球閥被閥座抱死從而不能很好的進行開關。
    　　
    　　2.閥體與球之間的中腔在閥門開關的時候進入硅粉，使球體抱死造成閥門不能順利開關。但造成這種原因需要一個工況條件，就是在硅粉潮濕的情況下才能黏結在腔體內。而硅粉在干燥或流體的情況下是不會造成這種抱死的情況的。要是硅粉在干燥或流體的情況下造成抱死情況那就是*種情況硅粉進入了閥座板簧變形腔了。

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