工業超純水設備是專用于生產超純水的技術產品，它主要采用了雙級反滲透系統+EDI模塊的處理工藝，出水電阻率可達16 MΩ*cm(25℃)。反滲透系統中應用了熱門的反滲透膜水處理技術，可以實現對納米級物質的有效分離，能充分截留超純水中需要被去除的有機物、細菌、金屬離子、懸浮物等物質。這個處理過程無須化學反應助劑，可以在物理條件下穩定進行，具有分離效果好、無污染、無相變的技術優勢。

EDI模塊可以實現超純水深度脫鹽，能使系統實現帶電荷運行，促使離子遷移速度加快，脫鹽效果更加突出。該模塊處理無污染物質產生，更不會產生酸堿廢液，因此后續工藝中不需要再進行酸堿中和處理，有效減少了環境污染，同時提高了產水效率。EDI進水為二級反滲透產水，水質較好，脫鹽后濃水水質仍舊能夠優于一級反滲透產水，可回流至一級反滲透產水箱。

工業超純水設備可以做到出水水質穩定、生產無污染、能耗低、運行連續穩定、自動化運行能力強，它采用了PLC智能化程序，能靈活進行操作，為超純水需求企業提供了可靠的技術支持。

工業超純水設備生產出的超純水中基本只會含有氫原子和氧原子兩種成分，是高純度的非飲用水，可以廣泛用于以下工業領域：

1. 硅晶圓清洗：硅晶圓是半導體生產的重要材料，其清潔程度對產品質量的影響巨大，應用超純水清洗硅晶圓能提高清潔度，保障產品質量、降低報廢率；

2. 細菌營養液配置：在生物實驗中，細菌培養是一項常見的實驗，采用超純水配置細菌培養的營養液不會干擾細菌的繁殖，基本對實驗結果無任何影響。

    除了以上兩大領域外，超純水還有其他廣泛的用途。因而，工業超純水設備還有巨大的投資價值有待開發。